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    >技術資料>應用說明

    高壓電源在離子束方面的應用
    發布時間:2021-08-24    來源:威思曼    瀏覽量:1080


    離子束


    離子束是通過高速加速離子產生的束。離子是帶正電或負電的原子或原子團。離子加速是通過施加任意電壓將離子移動到目的地。加速器的動量與施加電壓的大小成正比。根據離子轉移的應用,施加電壓的電極有加速電極、引出電極、抑制電極、偏轉電極、偏轉電極等。它們用于離子引擎、離子束濺射、離子注入、聚焦離子束(FIB)和加速器。為了防止器件內部的電位偏向于加速離子電位,在某些情況下,他有可能會通過加速離子產生離子而被電中和。

    為了為FIB生成離子束,使用了由連接有鎵的針狀鎢絲組成的液態金屬離子源(LMIS)。當燈絲被加熱并向提取電極施加電壓時,會從尖端產生離子束。生成的離子然后由加速器的電場和磁場控制,形成狹窄的定向流。離子束控制用于離子束掃描。從離子源提取的離子由聚光透鏡(CL)聚焦,離子束由靜電偏轉器掃描。離子束用于廣泛的應用,例如離子束注入、離子束處理和掃描離子顯微鏡(SIM)。

    離子束發生器由離子源(離子槍)、加速器中的電磁透鏡和偏轉器組成。離子束通過加速器,用于將雜質離子注入半導體、通過離子銑削進行表面清潔、表面處理、表面改性以及表面和內部分析。離子束在真空中被電場加速和減速,并被磁場偏轉。離子質量分選通過使離子在磁場中彎曲進行,能量分析通過減速電場法和靜電場偏轉分析法進行。



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                                                                                         離子源概念圖


    威思曼提供多種用于離子加速、提取、抑制、偏轉、聚焦、網格化和中和的電源設備。為靜電偏轉器設計的威思曼電源具有多種規格,特別是我們提供具有世界最高水平響應速度的高壓放大器。具有直流偏置功能,可以方便地調整掃描的掃描參考點。


    離子束電源:



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